前不久,在蘇州工業(yè)園區(qū),國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心(蘇州)發(fā)布“揭榜掛帥”項目指南。該中心副主任、江蘇第三代半導體研究院院長徐科表示,發(fā)布第三代半導體“揭榜掛帥”項目,是為了加快人才集聚、協(xié)作突破難點,加大關鍵核心技術攻關力度,全力推進該領域高水平科技自立自強。目前,第三代半導體材料生產裝備及核心部件開發(fā)等關鍵技術項目已由廈門大學、西安交通大學等高校揭榜。
自2006年在國內率先布局納米技術應用產業(yè)以來,蘇州工業(yè)園區(qū)一步步建載體、引人才、招企業(yè),構建日益完善的產業(yè)生態(tài),推動從研究走向應用、從技術走向產業(yè)。
產業(yè)培育“慢工出細活”
納米技術應用產業(yè)空間大、潛力足,但與之相對的是投入大、回報慢。錨定目標,一張藍圖繪到底。經過十多年悉心培育,納米產業(yè)在這里從“零基礎”變成“千億級”,目前園區(qū)已躋身全球五大納米產業(yè)集聚區(qū)之一,以園區(qū)為核心的蘇州市納米新材料集群入選國家先進制造業(yè)集群,產業(yè)創(chuàng)新集群建設高歌猛進。
“納米技術應用產業(yè)的發(fā)展,既要看得遠,前瞻布局規(guī)劃先行;又要沉住氣,甘于坐‘冷板凳’,慢工才能出細活。”蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長張淑梅說。
一番梳理之下,該產業(yè)發(fā)展路徑和關鍵節(jié)點歷歷在目——
2006年,中科院蘇州納米所在獨墅湖畔成立,拉開了蘇州納米技術應用產業(yè)發(fā)展的序幕;
2010年,園區(qū)在國內率先將納米技術應用產業(yè)列為區(qū)域戰(zhàn)略性新興產業(yè),通過實施納米科技領軍人才計劃、納米三年雙倍增計劃等,吸引海內外高層次人才紛至沓來;
2013年,作為園區(qū)發(fā)展納米技術應用產業(yè)的主陣地,蘇州納米城正式投用,后被認定為“國家級科技企業(yè)孵化器”;2019年,江蘇省第三代半導體研究院成立;2021年,國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心(蘇州)掛牌成立……
至2023年,園區(qū)已累計落戶近40家行業(yè)相關科研院所、高校研究院。通過鼓勵科研機構與企業(yè)聯合立項、攻關,園區(qū)在高性能微球材料、先進半導體材料、高端芯片研發(fā)等10多個領域不斷取得核心技術突破,填補多項國內外空白。
在17年的發(fā)展過程中,園區(qū)逐步探索出“十個一”產業(yè)培育機制,即聚焦一個特色產業(yè)、制定一個產業(yè)規(guī)劃、組建一家國資公司、建設一個功能園區(qū)、引進一批大院大所、設立一只產業(yè)基金、成立一個服務機構、集聚一批龍頭企業(yè)、搭建一批合作平臺、打造一個品牌盛會。
激發(fā)各類要素活力效能
蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城,勝科納米(蘇州)股份有限公司實驗室內,公司創(chuàng)始人李曉旻正在和團隊進行樣品測試?!靶酒庋b完畢后,可能仍有潛在的瑕疵和缺陷,用在關鍵設備上會發(fā)生故障。我們要做的,就是找出這些瑕疵并進行優(yōu)化?!崩顣詴F說,這項“芯片醫(yī)生”工作專業(yè)性極強。
勝科納米所在的蘇州納米城,是全球最大的納米技術應用產業(yè)綜合社區(qū),也是蘇州市納米新材料創(chuàng)新集群核心區(qū)之一,由蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責運營與建設。這里集聚了200多家納米新材料企業(yè),其中不乏納微科技、納維科技等資本市場看好的“明星企業(yè)”,在半導體器件、新型顯示與照明、生物醫(yī)藥等領域都處于上游核心環(huán)節(jié)。
縱觀園區(qū)納米產業(yè)發(fā)展,可以發(fā)現,幾乎每個節(jié)點上都有像蘇州納米科技這樣的國資力量承擔著“鏈主”功能。蘇州納米科技公司通過一系列舉措,使各類要素發(fā)揮最大最直接的產業(yè)促進效能。以搭建平臺為例,園區(qū)在基礎性平臺上,建立納米加工平臺、納米測試分析平臺等;在技術支撐與工程化方面建立MEMS中試平臺等,同時建立標準與檢測中心,服務園區(qū)企業(yè)的技術科研、產品創(chuàng)新、產業(yè)化發(fā)展需求。
蘇州工業(yè)園區(qū)先后匯集了15家納米產業(yè)相關的上市公司,其中蘇州納米城孵化了5家上市公司,且形成上市企業(yè)梯隊。此外,園區(qū)納米產業(yè)相關基金已超10只,總規(guī)模約20億元,后續(xù)則引導80億至100億元投資規(guī)模。
打造新材料產業(yè)創(chuàng)新集群
在納米產業(yè)的培育發(fā)展中,蘇州工業(yè)園區(qū)尤其注重科技自立自強,牢牢把握創(chuàng)新主動權、發(fā)展主動權,努力實現關鍵核心技術自主可控。
建設“大科學裝置”,中科院蘇州納米所納米真空互聯實驗站二期日前順利通過驗收,這是目前世界上最大的真空互聯科研裝置,集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體。走進其中,只見長達203米的超高真空管道縱橫交錯,連接了近40臺大型設備,管道旁,待試驗樣品被機械手送進設備后傳送至相應節(jié)點。截至2022年12月,實驗站累計開展合作課題651個,建立起輻射長三角地區(qū)、延伸海內外的用戶科研服務體系。
國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心(蘇州)落戶蘇州工業(yè)園區(qū),不僅彰顯區(qū)域科研實力,也成為助推創(chuàng)新資源集聚的又一抓手。自2021年3月獲批并啟動建設以來,隨著國家級平臺、領軍企業(yè)、代表性人才加速落地,國創(chuàng)中心(蘇州)已取得累累碩果:在大尺寸氮化鎵材料制備等領域取得重大突破,累計申請核心專利超200項;材料生長創(chuàng)新平臺推動可見光通信應用等領域技術指標國內領先。
根據《蘇州市納米新材料產業(yè)創(chuàng)新集群行動計劃(2023-2025年)》,該市將努力打造全球最具吸引力的納米新材料產業(yè)創(chuàng)新集群,力爭到2025年,全市納米新材料產業(yè)產值突破1000億元。對照這一目標,蘇州工業(yè)園區(qū)正奮力續(xù)寫更多精彩故事。
新華日報·交匯點記者孟旭 王俊杰
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