12月26日,彌費科技(上海)股份有限公司(以下簡稱"彌費科技")在上海臨港新片區(qū)舉辦"彌費科技臨港生產基地暨全球研發(fā)中心啟用儀式"。彌費科技專注于AMHS的研發(fā)、生產與制造,臨港工廠作為彌費科技AMHS項目研發(fā)和生產總基地,占地面積約8000平米,其中建設了2000平米的以天車為核心的潔凈室AMHS整體解決方案標準化示范線。
彌費科技董事長、CEO繆峰表示:"彌費科技立志成為具有全球影響力的半導體設備公司。2018 年,我們開始專注在 AMHS 系統(tǒng)的自主研發(fā),至今已經推出了 33 款AMHS 軟件及相關硬件,并且進入了全球前五大半導體晶圓廠之中的四家。新工廠的啟用標志著彌費科技的研發(fā)、生產以及整體運營能力進一步提升。"
半導體晶圓廠自動物料搬運系統(tǒng)AMHS是能夠直接影響半導體晶圓廠的物料運轉、產能績效的核心系統(tǒng)之一,可實現半導體晶圓制造過程中的高效自動化,有效提高晶圓廠生產線運行效率和穩(wěn)定性,降低人工成本和錯誤率,為客戶降本增效,擴大競爭優(yōu)勢提供助力。
作為中國領先的半導體晶圓廠AMHS設備整體解決方案供應商,彌費科技完成了從AMHS產品供應商向AMHS系統(tǒng)級供應商的演進。隨著率先完成晶圓廠AMHS系統(tǒng)級整廠訂單交付與驗收,彌費科技已成為國內首家具備整廠級AMHS解決方案、量產能力、項目實施經驗和交付案例的國產替代供應商,填補了國產半導體AMHS系統(tǒng)在該領域的空白。
彌費科技CTO李宏偉介紹,成立至今,彌費科技形成了五大核心競爭力:成套能力,產品組合可以建設整個晶圓廠;正向研發(fā)設計能力,從仿真、設計到驗證,全體系保證產品質量;自主研發(fā)能力,背后是對整個生態(tài)體系的建設;應用能力,核心成員均為來自國內外知名晶圓廠的資深從業(yè)者,可以非常精準地指導產品定義;算法能力,可以支撐500 臺甚至1000 臺的天車調度。
歷經多年的持續(xù)研發(fā),彌費科技推出了天車核心傳輸設備、協(xié)作式機器人、晶圓存儲設備、光罩存儲設備、緩沖存儲設備、上下料口凈化設備等三十余種AMHS設備和軟件調度系統(tǒng),知識產權數量達到200件以上。AMHS軟硬件產品已累計交付超過30家國內外晶圓廠客戶,同時積累了豐富的技術和項目經驗。
截止目前,彌費科技自主研發(fā)的AMHS核心傳送設備天車OHT、存儲設備Stocker都已完成多個版本的技術迭代。在軟件調度系統(tǒng)方面,成立了X-Lab實驗室,基于領先算法持續(xù)提升系統(tǒng)效能。該實驗室正從大規(guī)模調度的全局優(yōu)化、機器視覺代替?zhèn)鞲衅?、可預測性維護三個方向發(fā)力,用AI技術為系統(tǒng)賦能。
繆峰表示,彌費科技一路走來不斷開拓壯大,臨港工廠作為彌費科技AMHS進入大批量量產階段重要的生產基地,新工廠交付能力較之前提升了4倍,有效填補了國產半導體AMHS市場空白,彌費科技還將進一步實現8英寸和12英寸大型半導體晶圓廠AMHS的整廠量產交付,并基于技術實力進軍國際市場。
未來,彌費科技將繼續(xù)加大研發(fā)投入,提速產能部署,以高效、精準、安全的AMHS產品與解決方案,以"持續(xù)創(chuàng)造客戶價值"為導向,為客戶提供卓越的技術支持和服務,助力集成電路產業(yè)實現持續(xù)節(jié)能增效,提升市場競爭力。
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